电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)
电感耦合等离子体质谱仪(简称ICP-MS)，是20世纪80年代发展起来的一种新的微量(10-6)、 痕量 (10-9)和超痕量(10-12) 元素分析技术。可测定元素周期表中大部分元素，极低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、精密度高、分析速度快、可提供同位素分析。
ICPMS电感耦合
ICP-MS所用电离源是感应耦合等离子体(ICP)，它与原子发射光谱仪所用的ICP是一样的，其主体是一个由三层石英套管组成的炬管，炬管上端绕有负载线圈，三层管从里到外分别通载气，辅助气和冷却气，负载线圈由高频电源耦合供电，产生垂直于线圈平面的磁场。如果通过高频装置，则离子和电子在电磁场作用下又会与其它原子碰撞产生更多的离子和电子，形成涡流。强大的电流中产生高温，瞬间形成温度可达10000k的等离子焰炬。样品由载气带入等离子体焰炬会发生蒸发、分解、激发和电离。
ICPMS电感耦合
在ICP-MS中，ICP作为质谱的高温离子源，样品在通道中进行蒸发、解离、原子化、电离等过程。离子通过样品锥接口和离子传输系统进入高真空的MS部分，MS部分为四极快速扫描质谱仪，通过高速顺序扫描分离测定所有离子，扫描元素质量数范围从6到260，并通过高速双通道分离后的离子进行检测，因此，与传统无机分析技术相比，ICP-MS技术提供了更低的检出限、更宽的动态线性范围、干扰更少、分析精密度高、分析速度快、可进行多元素同时测定以及可提供的同位素信息等分析特性。
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